《表3 离面型双层不等周期亚波长光栅位移传感系统优化结果》

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《离面型双层亚波长光栅微位移传感系统研究》

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按照上述确定工作波长的方法，本文模拟了几组不同的光栅条宽度、厚度等结构参数在相应工作波长下的系统零级光透射率随光栅垂直位移的变化趋势，如图14所示。可以看出，在合适的结构参数下，只要工作波长选取得当，都可以得到零级衍射光透射率随光栅垂直位移变化的线性区，只是位移检测灵敏度和工作范围有差别。从上述几组结构参数中选取位移检测灵敏度的最优值，结果如表3所示。在入射光波长λ=1.516μm下，零级衍射光透射率随光栅垂直位移的变化如图15所示。此时零级衍射光位移检测灵敏度约为0.12%/nm，该系统的工作范围为0.5μm。