《表2 离面型双层不等周期亚波长光栅位移传感系统优化结果》

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《离面型双层亚波长光栅微位移传感系统研究》

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由图10可知，在合适的结构参数下，只要工作波长选取得当，都可以得到一级衍射光透射率随光栅垂直位移变化的线性区，只是位移检测灵敏度和工作范围稍有差别。从上述几组结构参数中选取位移检测灵敏度的最优值时的参数，结果如表2所示。在入射光波长λ=1.5234μm下，一级衍射光透射率随光栅垂直位移的变化如图11所示。此时一级衍射光位移检测灵敏度约为0.081%/nm，该系统的工作范围为0.15μm。