《表1 离面型双层等周期亚波长光栅位移传感系统优化结果》

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《离面型双层亚波长光栅微位移传感系统研究》

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从图5可以看出，在合适的结构参数下，只要工作波长选取得当，都可以得到零级衍射光透射率随光栅垂直位移变化的线性区，只是位移检测灵敏度和工作范围有差别。本文从上述几组结构参数中，选取位移检测灵敏度的最优值，结果如表1所示。在入射光波长λ=0.601μm下，零级衍射光透射率随光栅垂直位移的变化如图6所示。此时零级衍射光位移检测灵敏度约为0.923%/nm，该系统的工作范围为0.08μm。