《表1 深度加工误差对三种面型光栅衍射效率的影响Tab.1 Effect of depth machining error on diffraction efficiency of three kin
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考虑到实际加工时，光栅的深度会偏离设计值，故下文将讨论光栅深度误差对衍射效率的影响。如下表1所示，“0”表示最佳深度，“100”表示加工深度比最佳深度高100nm，反之，“-100”则表示加工深度比最佳深度低100nm。
| 图表编号 | XD0019709300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.12.30 |
| 作者 | 丁闪闪、冯奇斌、许沭华、俞良、吕国强 |
| 绘制单位 | 合肥工业大学电子科学与应用物理学院、合肥工业大学特种显示技术国家工程实验室现代显示技术省部共建国家重点实验室光电技术研究院、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
