《表2 光栅衍射效率测试结果》

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《用于全息波导的阶梯光栅设计》

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采用图6所示的测试系统测试制备光栅的衍射效率。系统包括发射波长为535 nm的激光器、准直透镜、制备的三阶光栅及光电探测器。激光进入三阶光栅后发生衍射，使用光电探测器测出不同衍射级别的电信号，该电信号的强度和入射光强度成正比。表2给出了设计的三阶光栅在0级和±1级的衍射效率。