《表1 高频分量对光栅结构及衍射效率的影响》

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《基于傅里叶级数的光栅加工误差分析》

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图8可得保留到2/T频率正弦光栅生成光栅结构的-1级衍射效率最高值为56%，在光栅结构和衍射效率方面与理想直角三角光栅的差异还是比较大的。如果继续叠加高频率正弦光栅，讨论光栅陡直度和斜面阶梯化的变化，并且计算对衍射效率的影响，根据图7的分析方法，计算出光栅侧壁陡直度及-1级最高衍射效率，计算结果如表1所示。