《表2 最大带宽积分平均衍射效率对应的最优相对微结构高度误差》

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《斜入射时一定温度范围内微结构高度误差对衍射效率的影响》

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利用（6）式计算得到的在0.4～0.7μm整个波段范围内的双层衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率与相对微结构高度误差ε的关系如图7所示。如图7和表2所示，正入射时双层衍射光学元件的带宽积分平均衍射效率最高为96.36%，对应的最优ε为9.40%。当入射角度范围为0°～10°时，带宽积分平均衍射效率最高为96.63%，对应的最优ε为7.39%。可见，随入射角度的增大，双层衍射光学元件在-40～80℃的确定温度范围内，最高带宽积分平均衍射效率对应的最优ε显著减小。同理，表2也给出了环境温度为-60～60℃时，在上述五个入射角度范围内工作的双层衍射光学元件带宽积分平均衍射效率的最大值及其对应的最优ε。