《表1 最大衍射效率对应的最优相对微结构高度误差》

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《斜入射时一定温度范围内微结构高度误差对衍射效率的影响》

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当双层衍射光学元件的工作环境温度范围确定为-40～80℃时，在最大入射角度分别为0°、5°、10°、15°、20°五种情况下，利用（5）式计算得到的0.435μm处的衍射效率与相对微结构高度误差ε的关系如图6所示。正入射时，衍射效率最高为98.42%，对应的最优ε为5.40%；当入射角度范围为0°～20°时，衍射效率最高为98.22%，对应的最优ε为-5.40%，如表1所示。可见，当环境温度确定后，入射角度范围的变化会影响最大衍射效率对应的最优相对微结构高度误差的大小；而且，随着入射角度范围的增大，双层衍射光学元件的衍射效率取最大值时对应的相对微结构高度误差逐渐减小。