《表1 聚焦波带片参数表：合肥光源的衍射光栅制备技术》

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《合肥光源的衍射光栅制备技术》

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为了满足合肥光源对特殊衍射光栅的迫切需求，国家同步辐射实验室在成立之初，即于1984年在国内较早地利用全息-离子束刻蚀技术开展了用于同步辐射的代表性衍射光学元件有软X射线聚焦波带片、真空紫外Laminar光栅和闪耀光栅（4）～（9）。其中，软X射线聚焦波带片具有聚焦和色散双重功能，是软X射线波段理想的聚焦元件（5）。软X射线聚焦波带片图形由线密度沿径向逐渐增加的透光和不（完全）透光的圆环构成，实际上是一个圆形的变间距光栅。在全息光刻方法中，由两个球面波同轴迭加，形成同心圆环的干涉图形，即为波带片图形。软X射线振幅型金聚焦波带片已在同步辐射显微术光束线上应用多年，制备的聚焦波带片如图3所示，主要技术参数表1所示。后续开展了软X射线位相型聚焦波带片研究（10），研制的以锗、镍为材料的两种位相型软X射线聚焦波带片的衍射效率分别达到理论设计值的94%和90%，表明位相型波带片的制作精度较高；而且与振幅型金波带片对比，其衍射效率分别提高了60%和26%，相当于提高同步辐射光源的亮度60%和26%。