《表2 为合肥光源研制的真空紫外-软X射线Laminar光栅统计》

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《合肥光源的衍射光栅制备技术》

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自2002年至今，在同步辐射衍射光栅研究工作的基础上，结合国家对强激光系统的需求，与国内相关单位合作，组织开展了大尺寸衍射光学元件的研制项目。在此项目中，研制了一系列大尺寸衍射光学元件所需的关键工艺设备，光栅的设计、制作水平，特别在衍射光栅离子束刻蚀方面得到了显著的提升和锻炼。研制大尺寸衍射光学元件的过程中，为合肥光源研制了一系列衍射光栅..（1.2）.（13），在燃烧、光电子能谱、角分辨光电子能谱等实验线站，具体参数如表2所示。此外，也研制了金透射光栅，用于光谱辐射标准与计量光束线的高次谐波分析（3）.（14）。受多种因素的影响，研制的光栅未进行直接的衍射效率测试。另一方面，制作光栅的槽形轮廓参数及其在合肥光源中使用情况反映了光栅制作情况。例如，为角分辨光电子能谱光束线研制的1200线/mm光栅..（1.3），设计的结构参数范围是：占宽比为0.35±0.05、槽深为35±5 nm；实际制作光栅的占宽比为0.35、槽深为35 nm；光栅的结构参数恰好处于最佳的优化设计工艺点，实际光栅衍射效率会接近其优化设计值20%。此外，在光束线完成调试的同时，进行了初步的光谱标定及性能测试。测试结果显示：利用1200线/mm光栅测量Ar的吸收谱，在29.2eV附近得到2.6 meV的能量分辨，分辨本领约为11000，满足了光束线设计要求。