《表4 刻槽周期数据列表：高衍射效率短波红外凸面闪耀光栅的研制与应用》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《高衍射效率短波红外凸面闪耀光栅的研制与应用》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

采用原子力显微镜（AFM，Bruker，型号为Dimension Icon）对光栅刻槽进行扫描，得到光栅局部剖面图，如图11所示。光栅闪耀角为2.773°，光栅脊线较尖锐且截面光滑平整，与理论槽型光栅接近。表4为刻槽间距的测量数据。对测量值进行统计，得到刻槽的平均间距为16.674μm，最大刻槽偏离为Δd=0.056μm，满足鬼线和波前要求的偏差约束。刻槽位置的方均根误差，将其代入（8）式得到pstray为0.077%。