《表3 不同表面槽型光栅的衍射效率》

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《高衍射效率短波红外凸面闪耀光栅的研制与应用》

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表3为不同表面槽型光栅的衍射效率，可以看出，在最大衍射效率处，三角形槽型结构的衍射效率较矩形浮雕结构高出1.19倍，整体平均衍射效率高出1.16倍。虽然矩形浮雕结构的制作较易实现[4-5]，但考虑到衍射效率对仪器的重要性，选择衍射效率更高的三角形槽型表面结构。