《表3 衍射效率测量结果：大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法》

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《大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法》

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图13为衍射效率测试原理图，激光束经过准直后入射到衍射透镜表面，经过可变光阑滤除杂散光以及其它衍射级次的光，出射光用光功率计接收并检测[18]．本文中使用波长为632.8nm的He-Ne激光器，测量石英基底衍射透镜+1级衍射效率，测量结果如表3所示．