《表5 系统公差设置：双波段多层衍射光学元件的基底材料选择方法研究及其在变焦系统中的应用》

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《双波段多层衍射光学元件的基底材料选择方法研究及其在变焦系统中的应用》

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由于系统的理论设计结果与实际加工结果存在差异，为了保证系统在现有的加工装调水平下满足系统的性能要求，对上述设计的折衍射混合双波段红外变焦系统进行了公差分析。表5给出了不同的参数对应的典型的加工公差值，每一个公差值均为考虑了实际加工精度的常用公差，表中PV代表峰谷值。依据这些值设置公差，并使用后截距进行补偿。面型精度的干涉条纹数的单位是波长，波长是指干涉仪所用的氦氖激光器的波长632.8nm。