《表3 MOEMS扫描光栅微镜机械扫描角测试结果》

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《电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化》

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为了研究磁场分布对电磁式MOEMS扫描光栅微镜机械扫描角度的影响，设计制造2个尺寸相同但谐振频率和驱动线圈电阻不同的MOEMS扫描光栅微镜芯片A1和A2，并分别结合不同永磁铁做性能测试。首先，将两个芯片分别安装到固定有永磁铁N38的封装体中，然后不断改变驱动信号的幅值和频率，当投射到PSD的光线长度达到最大时，记录由PSD输出的角度信号值，通过计算即可得出对应的机械扫描角度，该角度即为MOEMS扫描光栅微镜的最大机械扫描半角。再分别将上述两个芯片A1和A2安装到固定有永磁铁N52的封装体中，进行同样的测试并计算对应的最大机械扫描半角。测试数据如表3所示，相比磁性较弱的永磁铁N38，芯片A1在永磁铁N52的作用下驱动电压降低了6.6%，最大机械扫描半角增大了20.2%；同样，芯片A2的驱动电压相对应地降低了8.6%，最大机械扫描半角增大了17.4%。