《表1 不同材料属性和间距的永磁铁磁场仿真结果》

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《电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化》

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为了进一步探究两个永磁铁之间的磁场强度分布，表1分别对不同材料属性和间距的永磁铁做磁场仿真，并限定永磁铁的长度和宽度分别为10 mm和3 mm。仿真结果表明，相比改变磁铁的材料属性（剩磁和矫顽力），磁铁间距的改变对磁场分布的影响更为显著。磁铁间距的缩小不仅能有效增大可动微镜板区域的平均磁场强度，也能够使可动微镜板区域的平均场强差更小，使MOEMS扫描光栅微镜工作区域的磁场分布更加均匀。