《表2 永磁铁N38和N52的材料属性以及仿真优化结果》

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《电磁式MOEMS扫描光栅微镜驱动系统结构优化》

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为了探究磁场分布对MOEMS扫描光栅微镜工作性能的影响，本文结合MOEMS扫描光栅微镜封装体的设计尺寸对永磁铁进行仿真优化，从而得到两种平均磁场强度和平均磁场强度差相差较明显的永磁铁用于实验测试分析。通过对永磁铁做不同尺寸和间距的优化仿真，确定两种永磁铁的材料属性和尺寸参数如表2所示。此外，为了便于实验标注，经查阅钕铁硼性能牌号表，确定得到两种永磁铁对应的牌号分别为N38和N52。