《表7 参考平晶的平面度重复性结果》

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《等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对》

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μm

在对相移干涉仪进行绝对检验进行分析时，首先考虑多次测试结果之间的一致性。Z26，Z27两块平晶参与了四次绝对检验，其两个截面上测量点差异最大为0.004μm，平面度的测量重复性（标准差）为0.002μm如表7所示。如果再考虑温度等影响因素，相移干涉仪对于石英平晶的平面度绝对检验的测量不确定度可以优于0.01μm（k=2）。