《表1 双线夹角与实际平面度标定结果》

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《图像球面化算法在微通道板变形检测中的应用》

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根据图11中的数据，计算了不同凸度情况下对应的双线旋转角度的理论值.从凸度与双线旋转角度的理论值的关系可以看出，微通道板的平面度与直线的旋转最大角度成正比.同时，由图9中的模拟图像可知，相互垂直的两条直线的旋转方向相反，因此图15中旋转角度数据（即单线旋转角度）的二倍值被作为双线旋转角度的实际测量值.由于在本装置中角度的读数误差为±0.5°，因此该装置的测量精度为1μm，平均测量误差为±3.04%.为便于定标，双线旋转5°~40°时（即单线旋转2.5°~20°）对应的微通道板平面度也被列出，所有数据见表1.