《表4 精度对照表:激光干涉仪在FANUC数控机床位置精度检测中的应用》

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《激光干涉仪在FANUC数控机床位置精度检测中的应用》


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误差补偿前和补偿后的X轴位置精度检测结果比较如下,见表4。