《表2 不同矢高值下残差面对应的前9项Zernike多项式系数》

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《斜入射法测量蓝宝石基片仿真分析与实验》

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假设直径为100 mm的蓝宝石基片的矢高分别为2μm、3μm、4μm、5μm、6μm，选择斜入射角为70°进行测量，对测得的压缩波面进行展开恢复，扣除待测面形，并用Zernike多项式拟合残差面，得到前9项波像差系数，如表2所示，去除常数项、x向倾斜、y向倾斜，其余6项的折线图如图8所示。