《表1 前9项Zernike系数两种方法计算绝对误差》
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《离焦位置任意波长透射波前Zernike系数算法研究》
其中两种方法在短波处都出现最大误差,式(5)中三个与波长有关的变量都会出现计算误差,因此随着波长的扩展误差逐渐累积增大,但使用离焦补偿算法可将Z1的最大绝对误差由6.783 1降低到1.364 0.使用同样的方式验证其它项Zernike系数,表1给出全视场(1°视场)消色差望远系统Z1~Z9项系数两种方法最大绝对误差(模拟的光学系统没有引入离轴或倾斜误差,Z2、Z6和Z7的数据均为0).
图表编号 | XD0023382400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.07.01 |
作者 | 张齐元、韩森、唐寿鸿、王全召、姜志华 |
绘制单位 | 长春理工大学光电工程学院、上海理工大学光电信息与计算机工程学院、苏州慧利仪器有限责任公司、上海理工大学光电信息与计算机工程学院、苏州维纳仪器有限责任公司、苏州维纳仪器有限责任公司、上海市计量测试研究院机械与制造计量技术研究所 |
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