《表1 系统误差的Zernike系数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于立体相位测量偏折术的预应力薄镜面形检测》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

从光强中提取的相位信息除了被测反射镜的高度调制相位，还有系统误差，因此最后恢复的反射镜面形也包含了系统误差。这些误差来自于条纹屏平面性、相机噪声、计算积分时误差扩散和系统标定引入的误差等[15]，其中系统标定的误差是主要影响因素[16]。如何去除这些系统误差将取决于其组成成份。为了检验和分析此系统中标定不准确带来的系统误差成份，根据标定的系统位置参数建立系统模型[17]，并模拟了系统误差。图3为标定误差较大时的系统误差分布，表1为系统误差的Zernike多项式分解。表1的结果证明了PMD中系统误差主要是低阶非旋转对称部分[18]。因此，本文采用旋转平均法[19-21]来标定和去除系统误差，有效保证和提升测量精度。