《表1 不同斜入射角下残差面对应的前9项Zernike多项式系数》

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《斜入射法测量蓝宝石基片仿真分析与实验》

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在制备过程中蓝宝石基片的面形一般为矢高面，即磨制出的蓝宝石平面实际上是一个曲率半径很大的球面。为了模拟斜入射角的改变对检测结果中像差项的影响，假定蓝宝石基片的矢高值为5μm，斜入射角分别为63°、66°、69°、72°、75°、78°。用Zemax对检测结果进行模拟，恢复面形并扣除实际的5μm矢高面，得到残差面，如图6所示。用前9项Zernike多项式拟合残差面，各项系数由表1给出，其中前3项常数项、x向倾斜、y向倾斜在实际检测中不影响系统波像差，图7给出了其余6项的折线图。