《表2 36项Zernike多项式拟合面形计算结果》

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《大口径平面光学元件波前梯度数控抛光》

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一般来说，36项Zernike多项式的拟合面形图只能描述低频面形误差，截止频率为10-2mm-1，其残差图主要描述的是中高频面形误差[8]。GRMS作为低频波前的重要指标，截止频率为0.030 3mm-1，可以通过36项Zernike多项式拟合面形结果来定性研究GRMS与面形分布之间的关系。本文选取了5个不同面形分布的传输反射镜检测面形图（PV精度在0.3λ左右），用WYKO Vision32软件对原始面形数据进行Zernike多项式拟合处理，用Phase Suite软件分别计算拟合前后面形图（如图4所示）对应的GRMS，计算结果如表2所示。