《表1 各支撑方案自重变形下面形精度》
因此,提出4圈60点、66点被动支撑和5圈78点、84点被动支撑方案,以各方案被动支撑下的面形精度RMS值作为评价标准,确定初步支撑点布局方案。为了便于对比,各个方案支撑单元刚度设置为文献[14]中平均值1944 N/mm。通过有限元分析,得出各方案在自重变形下的面形精度RMS值如表1所示。
图表编号 | XD00146856800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.08.01 |
作者 | 习兴华、张超杰、胡海飞、关英俊 |
绘制单位 | 长春工业大学机电工程学院、长春工业大学机电工程学院、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、吉林大学机械与航空航天工程学院、长春工业大学机电工程学院 |
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