《表9 两种测量方法的绝对检验结果比对μm》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

在确认了等倾干涉仪和相移干涉仪各自绝对检验精度之后，就可对英特飞的两块平晶（1#，5#）的两次检测结果进行比对，其平面度结果最大的差异为0.005μm（如表8，表9所示）。按测量不确定度0.01μm计算，两种干涉仪测试结果的归一化偏差[7]En值为0.5，说明结果一致性极好。