《表3 本方法测定结果与认定值对比 (体积分数)》
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《气相色谱法测定硅烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量》
采用本方法对硅烷标准气体进行测定，测定结果与认定值相吻合，说明本方法切实可行。对比见表3。
| 图表编号 | XD0054475800 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.04.18 |
| 作者 | 李辉、宗凤云 |
| 绘制单位 | 内蒙古神舟硅业有限责任公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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