《表2 半导体过程数据检测结果统计》

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《基于统计差分LPP的多模态间歇过程故障检测》

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表2是八种算法对半导体过程数据的具体检测结果统计。由表2可以看出，对多模态间歇过程进行故障检测，SDLPP算法能保证在最低的漏报率下，误报率相对较低。与其他七种算法相比，SDLPP的故障检测效果最好，验证了该算法的有效性。