《表2 参数设置和检测率：基于DKNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视》

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《基于DKNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视》

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其中:t服从（-1，1）上的均匀分布；e为均值为0、方差为0.12的高斯白噪声。由M1和M2各产生200个数据组成训练数据集。从M1和M2各选取50个正常数据组成校验数据。然后，从M1随机选取100个数据并对变量y增加扰动，生成故障数据。数据集如图8所示。利用NPE、PCA、FD-KNN和DKNPE方法进行了测试。各种方法的参数和检测率如表2所示。