《表1 不同K值检测率：基于DKNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视》

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《基于DKNPE方法半导体蚀刻过程健康状态监视》

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图7为DKNPE方法的故障检测图。在DS中的FDR达到100%。其主要原因是差分方法消除了数据的非线性结构并且放大了故障幅度。同时K值的选取也非常重要，本文中的K值是经过寻优测试得到的。表1给出了不同K值对应的DKNPE方法检测率。当K值过小时无法准确找出最优估计样本，因此检测率未达到最优；当K值过大时会出现过拟合情况导致无法正确区分样本，因此检测率较低。