《表3 四种算法对半导体数据的检测结果对比》

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《基于局部相对概率密度kNN的多模态过程故障检测》

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表3是4种算法对半导体数据的检测结果对比。由表3可以看出，PCA算法的T2检测指标没有误报，但其漏报率较高；SPE检测指标漏报率较低，但是其误报率较高，效果均不如LRPD-kNN算法。LRPD-kNN算法和k NN算法均没有误报，但是LRPD-kNN算法的漏报率要低于kNN算法。LOF算法有较低的误报率，但是未完全检测出全部的故障。综上所述，与其它3种算法对比，LRPD-kNN算法在没有误报的情况下，漏报率最低，说明该方法对于多模态数据的故障检测非常有效，验证了该算法的有效性和优越性。