《表7 4种算法对半导体数据的检测结果对比》

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《一种基于改进局部熵PCA的工业过程故障检测方法》

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表7是4种算法对半导体数据的检测结果对比。由表7可以看出，PCA算法的T 2检测指标没有误报，但其故障检测率较低，SPE检测指标故障检测率较高，但是其误报率也相对较高，效果不如ILEPCA算法。KPCA算法的SPE检测指标和T 2检测指标均没有误报，但是KPCA算法的故障检测率要低于ILEPCA算法。LEPCA算法的SPE检测指标和T 2检测指标虽然没有误报率，但是故障检测率低于ILEPCA算法。综上所述，与其它3种算法对比，ILEPCA算法在没有误报的情况下，故障检测率最高，说明该方法对多模态非高斯数据的故障检测非常有效，验证了该算法的有效性和优越性。