《表2 不同工艺加工产品测试水汽含量结果对比》

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《水汽含量对石英晶体性能影响及抑制方法研究》


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(实验在环境温度为23℃、环境湿度为24%RH的条件下进行)

通过常规工艺加工的产品和采用本工艺加工的产品测试结果对比见表2。其中常规工艺按照按GJB3128A-97方法1018程序l进行,本工艺采用125℃±5℃的烘箱内烘烤0.5 h后取出放入封装设备中125℃±5℃的烘烤0.5 h,经过五个抽真空、充纯度为99.99%氮气循环;封装区域露点≤-55℃的情况下,10 min内封装完成的方式进行。其对比结果如表2所示。