《表1 氧化锌铝透明导电薄膜光电参数》

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《AZO透明导电膜电磁散射光电参数影响试验》

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采用非平衡磁控溅射镀膜设备[15-17]，以常温镀膜技术[16]在浮法玻璃非锡面沉积了不同方块电阻的氧化锌铝透明导电薄膜[17-22]，以研究方块电阻、透光率和隐身性能之间的关系.浮法玻璃基底厚4mm，透光率约为89.7%，几何尺寸与磁控溅射镀膜设备相关，结合镀膜玻璃光电参数性能要求，选择10 cm×10 cm，以方块电阻递增为编号顺序:No.1~No.10，方块电阻R□和透光率T见表1.为对比研究其与金属板效果差异，以几何尺寸大小相同的金属铝板（曲线中以Metal标识）作为基准进行研究.