《表2 不同天线比的Ig, shift均值Tab.2 Average Ig, shiftof the devices with different antenna ratios》

《表2 不同天线比的Ig, shift均值Tab.2 Average Ig, shiftof the devices with different antenna ratios》   提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《大马士革工艺中等离子体损伤的天线扩散效应》


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图3为Ig，shift随RA的变化趋势，当RA较小时，Ig，shift对RA的变化不敏感；当RA>10X时，Ig，shift随RA的增大而显著增大。上述结果说明，大马士革工艺中天线效应强度与天线上表面面积呈指数关系，当天线面积增大到一定程度时，天线效应才会对器件造成明显的性能损伤。

图表编号XD0028229500    严禁用于非法目的
绘制时间2019.01.03
作者赵悦、杨盛玮、韩坤、刘丰满、曹立强
绘制单位中国科学院大学微电子学院、中国科学院微电子研究所、长江存储科技责任有限公司、长江存储科技责任有限公司、长江存储科技责任有限公司、中国科学院大学微电子学院、中国科学院微电子研究所、中国科学院大学微电子学院、中国科学院微电子研究所
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