《表2 不同结构的器件性能参数比较Tab.2 Comparison of performance parameters of the devices with different structures

《表2 不同结构的器件性能参数比较Tab.2 Comparison of performance parameters of the devices with different structures   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《势垒层注入氢离子的AlGaN/GaN LDD-HEMT设计与仿真》


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图10为优化注入的氢离子浓度和注入的氟离子浓度后的Al GaN/GaN HEMT器件的转移特性曲线、输出特性曲线和击穿特性曲线。其中注入的氟离子浓度为4.2×1018cm-3,注入的氢离子浓度为8×1018cm-3。