《表1 不同氮分压制备条件下Zr N薄膜的EDS测量结果(原子百分比)及氮锆比(N/Zr)》

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《氮分压对ZrN薄膜结构及颜色的影响》

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Zr N薄膜的EDS能谱结果如表1所示，测量结果显示薄膜中存在Zr、N、Si、O等元素，薄膜中N、Zr原子比N/Zr随着溅射N2分压的增加而增大。显然，Zr和N来源于Zr N，而Si和O来源于基片。随着N2分压的增大，薄膜中N含量逐渐增加。薄膜中O含量基本未发生改变，表明未出现明显氧化。