《表2 不同沉积功率下制得的Zr O2薄膜的晶粒大小》

《表2 不同沉积功率下制得的Zr O2薄膜的晶粒大小》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《溅射功率对二氧化锆薄膜结构及力学性能的影响研究》


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表2给出了XRD的分析结果,从表中可知随着功率变大,晶粒大小改变不大,镀膜过程中的最高温度均在100℃左右。二氧化锆是一种较难结晶的物质,而整个实验温度均较低,所以四种薄膜的结晶情况相差不大。