《表2 不同沉积功率下制得的Zr O2薄膜的晶粒大小》
表2给出了XRD的分析结果,从表中可知随着功率变大,晶粒大小改变不大,镀膜过程中的最高温度均在100℃左右。二氧化锆是一种较难结晶的物质,而整个实验温度均较低,所以四种薄膜的结晶情况相差不大。
图表编号 | XD00104290800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.01 |
作者 | 彭塞奥、王天齐、金克武、杨扬、李刚、姚婷婷、杨勇、沈洪雪、鲍田、汤永康、金良茂、王东、苏文静、沈鸿烈、甘治平 |
绘制单位 | 浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术国家重点实验室、蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司、浮法玻璃新技术 |
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