《表2 背面氮化硅膜厚和折射率》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《工业化双面PERC太阳电池研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

在获得优化参数的背面抛光工艺基础上，对双面PERC电池的背面氮化硅钝化膜工艺加以研究。通过调节背面氮化硅膜层工艺参数，使用SENTECH SE800PV椭偏仪来测量氮化硅膜厚和折射率，如表2所示。