《表1 仿真参数:基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术》

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《基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感技术》


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本文使用有限元法对少模氮化硅波导开展了数值计算分析,仿真参数如表1所示。