《表2 背面氮化硅膜折射率不同时的PERC单晶硅太阳电池的电性能》

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《背钝化膜特性对PERC单晶硅太阳电池的影响研究》

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氮化硅膜在制备时，SiH4与NH3会有不同的流量比，相应的对应不同的折射率。本实验中选取的SiH4与NH3的流量比，分别为1∶2.44和1∶2.63，其对应的折射率分别为2.10和2.08。两种不同折射率的PERC单晶硅太阳电池的电性能如表2所示。