《表1 HALCON NCC、HALCON Shape及SNCC测量离焦标记图像重复性对比表》
从表1中可以得出,使用SNCC方法得到的重复性受到标记离焦的影响最小,重复性结果最好;使用HALCON Shape方法受到标记离焦的影响最大,这是由于标记的边缘在离焦后变模糊所致。
图表编号 | XD00189725600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.12.30 |
作者 | 徐兵、陈跃飞、周畅、张建华、李喜峰 |
绘制单位 | 上海大学机电工程与自动化学院、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海大学机电工程与自动化学院、上海大学机电工程与自动化学院 |
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