《表5 不同N2充气量下的薄膜硬度》

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《可见光波段Si_xN_y/SiO_2硬质增透膜的研制》

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从图3中可以发现，6号和7号样品的平均反射率较高，且最大反射率超过1%，作为手机显示屏会影响屏幕的显示效果，而5号样品的平均反射率为0.73%，减反射效果较好。用纳米压痕仪得到样品的硬度如表5所示，可以发现，6号样品的硬度最大，但其光谱曲线在波长为700nm处的反射率较大，而5号样品的硬度为15.99GPa，仅比6号样品的硬度小0.07GPa，且各方面性能均满足技术参数要求，因此，实验将5号样品的工艺参数作为最佳工艺参数。