《表3 不同N2充气量下的SixNy膜层硬度》

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《可见光波段Si_xN_y/SiO_2硬质增透膜的研制》

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影响SixNy膜层硬度的主要因素是沉积过程中Si和N2的比例，不同N2充气量形成SixNy的化学计量比有一定差异。为了分析化学计量比对薄膜硬度的影响，通过改变N2的充气量调节Si和N2的比例，并进行一系列梯度实验。实验中的靶材功率、ICP功率和Ar充气量等工艺参数保持不变，测试得到的样品硬度如表3所示。