《表5 薄膜硬度的方差分析Table 5 ANOVA for film microhardness》

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《高熵合金AlCrNbSiTiV氮化物薄膜溅镀参数的优化》


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由表5可知，影响薄膜硬度最大的因子是基材温度，其次是溅射功率和基材偏压，沉积时间的影响则微乎其微。

图表编号XD0014509500    严禁用于非法目的
绘制时间2018.08.15
作者万松峰、许春耀、张钰乾
绘制单位东莞职业技术学院机电工程系、龙华科技大学机械工程系、东莞职业技术学院机电工程系
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