《表3 不同温度下退火100h后薄膜的XRD基本参数Table 3 Basic parameters of XRD for the 100hannealed films differing in an

《表3 不同温度下退火100h后薄膜的XRD基本参数Table 3 Basic parameters of XRD for the 100hannealed films differing in an   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《退火对铝诱导结晶锗薄膜的影响及其机理》


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随着温度的升高,Ge(111)择优取向性逐渐下降,说明随着退火温度的升高,锗晶粒的生长不只沿着(111)方向生长。由表3可以看出,随着退火温度的升高,Ge(111)峰的衍射峰半高宽逐渐增加,Ge(111)晶向的晶粒尺寸不断减小。