《表1 微加速度计三个轴向的位移灵敏度》

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《一种增大质量块的三轴MEMS加速度计的设计》

利用Ansys有限元分析软件对器件进行静力学分析。分别对器件施加1g的加速度，得到微加速度计三个轴向的位移灵敏度，如表1。

图表编号	XD00151038500 严禁用于非法目的
绘制时间	2020.05.04
作者	冯堃、张国俊、王姝娅、戴丽萍、钟志亲
绘制单位	电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院
更多格式	高清、无水印（增值服务）