《表2 微加速度计3个轴向的位移灵敏度》

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《田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真》

在3个轴的方向上分别施加1g大小（这里的g表示当地的重力加速度）的加速度，通过ANSYS的结构静力学仿真得到了微加速度计3个轴向的位移灵敏度，见表2。

图表编号	XD00184674500 严禁用于非法目的
绘制时间	2020.12.04
作者	周寿权、张国俊、王姝娅、戴丽萍、钟志亲
绘制单位	电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院、电子科技大学电子科学与工程学院
更多格式	高清、无水印（增值服务）