《表1 μLIBS的基本应用情况》

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《激光诱导击穿光谱微区分析的研究应用进展》

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作为一种高效、方便的光谱分析技术，激光诱导击穿光谱微区分析技术早在20世纪90年代就有报道，如今其应用已经遍布金属、动植物、半导体及其它多个领域。表1列出了滋LIBS的研究和应用情况，包括不同应用对象，激光烧蚀弹坑的直径，检出限，激光参数等信息。